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HJT板式等离子体增强化学气相沉积设备
制备本征及掺杂非晶硅薄膜。
板式透明导电薄膜沉积设备(RPD/PAR/PVD)
板式物理镀膜设备用于镀着透明导电薄膜于衬底(硅片、玻璃片、柔性基板)。
